小批量單片搬送直立式爐管

這種配備自動輸送機的低價直立式爐管可用於從研發到批量生產4至8英寸晶圓的一系列功能。
超高溫處理是可用的，最適合功率裝置製造。

特性

針對後端使用者的低成本設備
小批量，50至75片晶圓加工，可用於研發到量產線

最多4個盒式堆料器
實現從低溫到中高溫範圍的出色溫度控制
使用單個晶圓搬運機器人進行高速晶圓傳輸

概要
規格
應用
自訂
支援
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概要

此爐可用於從4英寸至8英寸的多種晶圓尺寸，並且可以選擇小批量處理50-75片晶圓。透過精心挑選的硬體和控制系統內容，以實現低價，這款直立式爐管可用於從研發到量產線的廣泛功能。從我們專有的Light Gauge Over-bend Heater、二矽化鉬 (MoSi2)加熱器和碳加熱器中選擇，並使用合適的加熱器，不僅適用於低溫退火、氮化物 (Si3N4)、多晶矽 (poly Si)和其他材料的LPCVD、氧化和擴散，也適用於SiC功率裝置柵矽氧氮化、活化退火等超高溫處理製程。

規格

機型	VF-3000
外部尺寸	W1200 × D1450 × H2610 mm
平面區長度	至 360 mm
晶圓尺寸	4至8英寸
批量大小	最高75片晶圓 (8英寸為50片晶圓)
I/O連接埠	4
盒式堆料器數量	4
指	單晶圓