解決方案案例 [case-008] 提高生產力 (重新配置處理過程)
- 退火
- VF-3000(B)
使用高效能直立式爐管可大幅提高生產率
| 支援流程 | 退火 |
|---|---|
| 型號介紹 | VF-3000小批量單片搬送直立式爐管 |
問題
客戶擁有LED退火 (燈退火)設備，其在使用單晶圓傳輸爐時遇到了低生產率。
解決方案
- 我們用我們的直立式爐管產品試作裝置進行了產品試作，並實施一個新製程。
- 我們建議採用快速升溫和降溫的處理方法，以進一步提高生產力，這已獲得客戶青睞。
結果
- JTEKT的產品試作證實，可以在直立式爐管中生產出具有一致性的產品。
- 在與單晶圓傳輸爐相同的初始成本下，生產率顯著提高。
