我们利用对半导体、电子元件、FPD 和其他产品的生产至关重要的热处理系统，针对客户面临的问题提供解决方案。
我们的产品分为六大类。
查看各种客户问题及其解决方案。
用于大直径晶圆的 CNT（碳纳米管）生长系统
通过实验用高性能小型立式炉管提高实验和开发精度
优化隔热设计，增强立式炉管节能效果
参展 CERAMIC JAPAN (Tokyo show)
参展 CERAMIC JAPAN (Osaka show)
解决方案案例中增加了一个案例。（[case-026] 通过测定CO2浓度实现脱脂状态可视化）
解决方案案例中增加了一个案例。（[case-025] 提高8inch晶圆的生厂力）
解决方案案例中增加了一个案例。（[case-024] 可实现在不同晶圆尺寸设备间传输的Robot）
