FPD和薄膜製造設備

我们致力于追求平板显示器、薄膜材料和板材制造领域所需的清洁性能和均匀热处理质量。

JTEKT Thermo Systems 为平板显示器、薄膜材料和板材制造中使用的各种热处理做出了贡献。例如,我们适用于液晶显示器 (LCD) 和有机 EL (OLED) 等产品的清洁加热系统,以及适用于高性能薄膜和充电电池电极材料等板材的熔炉。

在影响设备性能的材料和工艺方面,使用此类设备处理的工件正在迅速发展,其应用已扩展到新领域。由于生产设备需要更高的创新性能,JTEKT Thermo Systems 基于我们长期积累的丰富经验和技术,不断推出满足客户需求的新解决方案。

适用于平板显示器的洁净烘箱

其他设备

  • 辊轴式连续炉

    辊轴式连续炉
    RH 系列

    清洁并改善工作环境。
    应用:FPD、太阳能电池板的各种浆料和薄膜的高温烘烤
    欲知更多详情,请联系我们。

  • 树脂带式干燥炉

    树脂带式干燥炉
    RB 系列

    由于采用了树脂传送带,因此不会在基板上产生张力。
    通过减少炉内粉尘的产生,实现清洁环境(100 级)。
    应用:保护片和薄膜的热处理
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  • 批量洁净设备 CBS 系列

    批量洁净设备 CBS 系列

    我们专有的密封结构可通过充入惰性气体进行抗氧化处理。
    超高温 HEPA 过滤器支持的最高工作温度为 500°C。
    采用烘箱强制冷却机制和更快的基板传送实现了高吞吐量。
    应用:LTPS(低温多晶硅)和 TFT 的各种退火

    欲知更多详情,请联系我们。
  • 步进式洁净烘箱 WB 系列

    步进式洁净烘箱 WB 系列

    烘箱内运输采用了清洁性能优异的步进梁系统。
    通过使用耐热晶盒批量运输玻璃基板,实现了较高的生产效率。
    应用:玻璃基板退火

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