VF-3000 小批量单片式立式炉管

这款配有自动输送机的低成本立式炉管可用于从研发到批量生产 4 至 8 英寸晶圆的一系列功能。
我们实现了如此低的价格，有助于后端用户引进这款立式炉管。
提供超高温处理，非常适合功率器件制造。

特性

面向后端用户的低成本设备
小批量、50 至 75 片一体式处理可用于研发及批量生产线
提供 4 至 8 英寸晶圆尺寸
最多 4 个晶盒储料器
使用 LGO 加热器，从低温到中高温都能实现出色的温度控制
使用单片式机械手臂实现晶圆高速传送
配备功能有限的简单控制系统

概述
规格
应用
定制
支持
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概述

该立式炉管可用于 4 英寸到 8 英寸的各种晶圆大小，并可选择小批量处理 50 至 75 片一体式。该立式炉管通过精心选择硬件和控制系统组件来实现低价，可用于从研发到批量生产线等众多功能。从 LGO 加热器、二硅化钼 (MoSi2) 加热器和碳加热器中选择使用一款合适的加热器，不仅可用于低温退火、氮化物 (Si3N4)、多晶硅和其他材料 LPCVD、氧化和扩散处理，还可用于 SiC 功率器件栅硅氧氮化、活化退火和其他超高温处理工艺。

规格

外部尺寸	W1200 × D1450 × H2610 mm
加热器	LGO 加热器
均热区长度	至 360 mm
晶圆大小	4 至 8 英寸
批量大小	最高75 片一体式（8 英寸为 50 片一体式）
I/O 端口	4
晶盒储料器数量	4
手指	单片式
选配	强制冷却系统 N₂ 置换室可转换晶圆大小