HGC 加热器
大尺寸线圈 (HGC) 单元加热器成本效益高，使用寿命长，适用于半导体热处理
这些 HGC 加热器可在最高工作温度高达 1250℃ 的条件下使用，非常适合用于需要反复进行相对高温热处理的半导体扩散炉。装有大尺寸线圈的热源非常耐用，使用寿命长。
HGC 加热器
大尺寸线圈与采用专利技术的垫片相结合，可防止线圈变形。其高温耐久性卓越，使用寿命长。对于需要反复进行高温热处理的扩散炉来说，这款加热器是最佳选择。
特性
- 装有大量互锁线圈垫片，可支撑线圈加热元件。
- 绝缘体具有弹性，可防止加热元件变形。
- 绝缘体表面涂有氧化锆，可避免产生颗粒。
- 加热和冷却特性卓越
- 高温稳定性卓越
| 应用 | 扩散炉、 氧化炉、 卧式炉管、 立式炉管处置器 |
|---|
规格
| 加热元件尺寸 | 7.3 至 9.3mm |
|---|---|
| 加热器内部尺寸 | 150 至 400mm |
| 均热区长度 | 150 至 1200mm |
| 冷却方式 | 自然冷却或水冷却 |
| 温度范围 | 最高 1250℃（立式炉管）(AZTEC) 最高 1250℃（卧式炉管）(AZTEC) |
| 最高温度 | 1250℃ (AZTEC) 1200℃ (HELIX-II) |
| 加热和冷却特性 | 加热：无负载时 >20℃/分钟 冷却：无负载时 <5℃/分钟 |
| 高温稳定性 | 加工过程中 1200℃ ± 0.5℃ |
| * 不同的加热器数值也会不同。 | |