解決方案案例

查看各種客戶問題及其解決方案。

• [case-011] CNT (碳納米管) 生長系統

  用於大直徑晶圓的CNT (碳納米管) 生長系統

  • 氮化物、氧氮化物
  • VF-1000(H)

• [case-010] 提高實驗和開發的準確性

  使用高效能小型直立式實驗爐提高實驗和開發準確度

  • 退火
  • VF-1000(H)

• [case-009] 低溫直立式爐管節能

  透過最佳化保溫設計提高直立式爐管的節能效果

  • 聚酰亞胺固化
  • VF-3000(B)