解決方案案例 [case-011] CNT (碳納米管) 生長系統
- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)
用於大直徑晶圓的CNT (碳納米管) 生長系統
| 支援流程 | CNT (碳納米管) 生長 |
|---|---|
| 型號介紹 | VF-1000LP |
問題
客戶正在小直徑管式爐中進行測試，但為了增加晶圓尺寸，他們正在尋找能夠生產、能夠透過產品試作進行加工的設備的製造商。
解決方案
- 客戶使用我們的設備進行了產品試作，即使增加了晶圓直徑，也可以預期碳納米管的生長。
- 我們提出了VF-1000LP，其氣體引入規格，如碳納米管生長所需的乙烯和乙炔，客戶根據我們的推薦購買了該產品。
結果
在碳納米管生長過程中可以增加晶圓直徑。
