MLCC/LTCC製造設備
什麼是MLCC？
MLCC是多層陶瓷電容器 (Multi-Layered Ceramic Capacitor) 的縮寫。由於採用多層 (層壓) 陶瓷電介質和金屬電極，這些晶圓型電容器設計為小尺寸和大容量。MLCC輕巧、耐熱的設計，使其成為高頻電路的理想選擇，經常使用在電腦、通訊裝置、視訊裝置、汽車和多數其他數位裝置中。
近年來，電子產品在汽車中的應用日益突出，智慧型手機變得越來越複雜，IoT (物聯網) 則越來越流行。使得MLCC的需求快速成長，證明其為高度通用的電子產品。
什麼是LTCC？
LTCC是低溫共燒陶瓷 (Low Temperature Co-fired Ceramic) 的縮寫。這些陶瓷在低溫下燒製，因此可使用低電阻金屬作為導體，從而降低電阻損耗。非常適合用於高頻應用。由於可以在表層和內層上形成佈線圖案，因此可以很容易地執行層壓和平整工作。此外，收縮變化小，因此可實現高精度和高密度的安裝。這些陶瓷預期將應用到包括電路板和半導體封裝在內的廣泛領域。
JTEKT Thermo Systems MLCC和LTCC生產熱處理設備
JTEKT Thermo Systems身為MLCC/LTCC生產熱處理設備的製造商，致力於運用先進技術和高可靠性製造，以及悠久的交貨記錄，為客戶解決各種問題。
雖然公司作為熱處理設備的綜合製造商能提供種類繁多的設備，但本頁面僅介紹一部分具有代表性的JTEKT Thermo Systems產品。
處理應用
JTEKT Thermo Systems MLCC/LTCC生產熱處理設備通常用於脫脂和燒製、再氧化和電極燒製，但設備也可以設計為滿足各種客戶特定要求，包括中間的處理應用。
特點和優勢
MLCC和LTCC根據製造商的不同個別經驗製造，在製造方面並沒有指定的「標準」。
除了簡單的惰性氣體烤箱和網帶式連續爐的熱處理設備平台外，JTEKT Thermo Systems也定期提供獨一無二的客戶專用設備。
JTEKT Thermo Systems運用多年經驗開發的先進氣氛控制和加熱控制技術，支援著高品質的MLCC和 LTCC製造。
產品
-
網帶式連續爐
連續網帶輸送熱處理爐
應用：
MLCC脫脂 (黏合劑燒除)、電極烘烤、LTCC燒製 -
陶瓷輸送帶式連續爐
這些產品在運輸傳送帶中使用具有優異耐熱性和耐磨性的陶瓷鏈條。
應用：
MLCC燒製、再氧化 -
惰性氣體烤箱
用於在氧氣 (O2) 濃度為20 ppm或以下的氮氣 (N2) 氣氛中進行熱處理的熱風循環烤箱
應用：
脫脂 (黏合劑燒除) -
系列具有過熱水蒸氣氣氛的製造設備，可滿足各種需求
應用：
脫脂 (黏合劑燒除) -
真空箱型爐ΜB系列
憑藉快速抽空效能，可在短時間內完成氮氣 (N2) 的氣體轉換。
應用：
MLCC二次脫脂
LTCC燒製 -
廢氣燃燒處理設備
使用電加熱器實現直接燃燒法的廢氣燃燒處理設備
應用：
廢氣燃燒分解
網帶式連續爐47-MT系列
這些爐子採用網帶結構和爐膛，可提供出色的氣氛穩定性和再現性。使其成為MLCC脫脂、電極燒製和LTCC燒製的理想選擇。
自1980年為日本電子產業交付第一台熔爐以來，JTEKT Thermo Systems已出貨超過4,000台用於製造電子元件的網帶式連續爐。
採用金屬馬弗可提供出色的爐內溫度均勻性。此外，爐內氣氛提供了出色的氣密性，以及更高的穩定性和再現性。
採用具有JTEKT Thermo Systems隔熱技術和先進溫度變化特性的加熱器（JTEKT自製Moldatherm heater），確保高精度的溫度控制及出色的節能效果。使這些產品成為MLCC和LTCC製造中熱處理生產線的理想選擇。
還提供用於處理脫脂過程中產生的有機廢氣的選購裝置系列，確保適用於任何應用的廣泛處理設備選擇。
多進/排氣型
這些機型採用馬弗結構，根據所處理的工作有多個進氣口和排氣口，可以微調氣氛調節。
可根據客戶要求設計產品，如MLCC銅電極烘烤需要高效脫脂，或每一步都需要變更氣氛的處理。
處理應用範例
應用
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| 工業領域 | 熱處理用途 | 熱處理的產品 |
|---|---|---|
| 電子元件 |
・乾燥 ・固化 ・脫脂 (黏合劑燒除) ・電極烘烤 ・再氧化 ・煅燒 ・燒製 ・退火 ・燒結 ・焊接 ・銀釬焊 |
・反應堆 ・MLCC (多層陶瓷電容器) ・多層電感器 ・LTCC (低溫共燒陶瓷) ・密封端子 ・鐵氧體磁芯 ・壓電元件 ・陶瓷封裝 ・再氧化 |
| 其他 |
・乾燥 ・固化 ・脫脂 ・退火 ・電極烘烤 ・複塗 |
・光電 ・黏結磁鐵 ・燒結磁鐵 ・金屬材料 |
規格
| 最高工作溫度 | 1000℃ |
|---|---|
| 運輸方式 | 網帶輸送 |
| 加熱室 | 耐熱鋼製馬弗 |
| 皮帶寬度 (mm) | 150至800 |
| 支援的氣氛 | 氮氣、氮氣 (濕式)、氮氣 + 空氣、空氣 |
| 選用件 | 皮帶清潔器、可拆卸進排氣裝置、廢氣處理裝置、工件輸送裝置 * 也提供各種其他選項。按一下這裡與JTEKT Thermo Systems連絡。 |
有機廢氣處理裝置
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加熱器型廢氣處理裝置
GM系列 -
觸媒廢氣燃燒處理裝置
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水冷冷阱
陶瓷輸送帶式連續爐
這些產品在運輸傳送帶中使用具有優異耐熱性和耐磨性的陶瓷鏈條。小巧的設計，卻有著卓越的節能效能。這些裝置是MLCC再氧化製程的理想選擇。
與滾輪運輸和推桿運輸等其他高溫爐相比，鍊條運輸更穩定，可減少與燒製夾具相關的運輸問題。
產品系列包含氧化鋁鏈 (最高1200°C)和高溫規格莫來石鏈 (最高1400°C)。
規格
| 最高工作溫度 | 1400°C (陶瓷馬弗) 600°C (耐熱鋼製馬弗) |
|---|---|
| 運輸系統 | 陶瓷輸送帶運輸 |
| 加熱室 | 耐熱鋼製馬弗或陶瓷馬弗 |
| 支援的有效寬度 | 最小200 mm (如需其他寬度，請與我們連絡。) |
| 支援的氣氛 | 空氣、氮氣 (濕式/乾式) |
| 應用 | MLCC燒製和再氧化、玻璃上釉、鐵氧體燒結、熱敏電阻燒製、陶瓷感測器燒製 |
惰性氣體烤箱INH系列
- 最高工作溫度
- 600℃
這些高效能惰性氣體烤箱能在氧氣濃度低至 20 ppm 的氣氛中在高達600°C的溫度下進行熱處理。使本系列成為MLCC和 LTCC脫脂的理想選擇。
JTEKT Thermo Systems開發了惰性氣體烤箱和潔淨烤箱，其基礎技術是從常壓烤箱生產中養成。公司至今已交付4,000多台烤箱。
這些惰性氣體烤箱採用專有的腔室結構和密封技術，具有出色的氣密性和溫度均勻性，同時還確保更高的穩定性和再現性。
此外，採用由冷卻鼓風機驅動的外部冷卻機構，可以在不影響爐內氣氛的情況下快速冷卻，從而縮短處理時間。
還提供可選產品系列 – 包括有機廢氣處理裝置和脫脂專用設備所要求的升級安全規格 – 可確保安全可靠地生產MLCC和LTCC。
應用
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| 工業領域 | 熱處理用途 | 熱處理的產品 |
|---|---|---|
| 電子元件 |
・脫脂 (黏合劑燒除) ・退火 ・固化 |
・陶瓷材料/板 ・MLCC (多層陶瓷電容器) ・LTCC (低溫共燒陶瓷) ・陶瓷氧感測器 ・鐵氧體磁芯 ・FPC (柔性印刷電路) ・共模雜訊濾波器 ・熱敏電阻 |
| 其他 |
・脫脂 ・固化 ・退火 ・燒製 ・乾燥 |
・碳化矽陶瓷 ・靜電吸盤 ・氮化鋁 ・光學鏡頭 ・柔性基板 ・充電式電池電極材料 ・線束 (銅線) ・觸媒 ・鍛造產品 |
規格
| 方法 | 強制空氣循環 (側流) |
|---|---|
| 最高工作溫度 | 600℃ |
| 標準工作溫度範圍 | 室溫 + 60至600°C |
| 支援的氣氛 | 氮氣、空氣 |
| 內部尺寸 (mm) | 600W × 600H × 600D (INH-21CD)至1000W × 1000H × 1000D (INH-100CD) |
| 冷卻機構 | 帶外部水箱的強制冷卻機構 |
| 選用件 | 氧氣分析儀、廢氣處理裝置、升級安全規格、工件裝載升降機 * 也提供各種其他選項。按一下這裡與JTEKT Thermo Systems連絡。 |
自訂範例
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帶升降機的自訂機型
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選用脫脂規格
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加熱器型廢氣燃燒處理設備
GM系列
安全注意事項
在產品加工過程中產生黏結劑和有機成分的情況下，根據所產生成分的微分熱重曲線和其他特性，透過考慮加熱速度、引入的氣體量和其他因素進行處理，以確保安全。
廢氣燃燒處理設備
本設備採用高溫直接燃燒方式，對所處理產品產生的有機蒸氣進行精準淨化。使本系列非常適用於進行脫脂的熱處理設備的廢氣處理。
在陶瓷的臨時燒結製程和電子元件的脫脂製程中，所處理物體會產生含有有機化合物的蒸汽。此氣體在爐內氣氛中擴散，作為廢氣從熱處理設備排出。但是，此氣體具有強烈的刺激性氣味且可燃，因此可能會造成不佳的工作環境並引發火災和爆炸危險。針對這些問題的對策是淨化氣體，但其執行方式是一大挑戰。
JTEKT Thermo Systems推出GM系列，使用直接燃燒的方法來精確淨化廢氣，從而改善工作環境和安全性。目前，全球有超過700台GM系列裝置在生產線上運作。
直接燃燒法與催化燃燒法相比，結構簡單，對焦油和粉塵的耐受性高，可用於各種處理物體的廢氣處理。
GM系列將新鮮空氣加入到廢氣中，並準確地將馬弗爐內的有機物直接燃燒分解，加熱到點火點或高於點火點的溫度 (最高850°C)。熱源使用電阻加熱器 (JTEKT Thermo Systems製造的加熱器 （JTEKT自製Moldatherm heater）)，因此無需安裝燃料氣體或氣體燃燒器方法 (以明焰燃燒目標) 所需的其他此類設備。如此可降低設備安裝成本。高度可靠的加熱器（JTEKT自製Moldatherm heater）具有出色的節能效能和溫度控制功能，可實現穩定的廢氣處理。
我們建議將此設備與惰性氣體烤箱、脫脂爐或網帶式連續爐搭配使用。將該設備與JTEKT Thermo Systems熱處理設備相結合，可實現連結操作和內鎖，從而確保操作更高效安全。
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內部結構
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使用範例 (與惰性氣體烤箱連結)
規格
| 廢氣處理方式 | 用電加熱器加熱直接燃燒 |
|---|---|
| 最高工作溫度 | 850°C |
| 加熱室 | 耐熱鋼製馬弗 |
| 空氣助燃 | 壓縮乾燥空氣 |
| 處理氣體量 | 400 L/min (GM-30C) 至 800 L/min (GM-50C) * 包括空氣助燃 |
系列
為了提供滿足所有客戶需求的熱處理技術，JTEKT Thermo System開發了利用過熱水蒸氣氣氛的製造設備系列。
這些熱處理設備可作為批量或連續式使用。JTEKT Thermo System還提供用於實驗開發研發、小批量生產和量產的一系列產品。
過熱水蒸氣
過熱水蒸氣是在常壓下將100℃蒸發的飽和蒸汽加熱到更高溫度而產生的無色透明高溫蒸汽氣體 (H2O)。
主要特點
- 比加熱空氣更高的比熱和更好的輻射效果，可在更短的時間內均勻加熱
- 低氧處理能力
- 透過加速加工產品的水解反應提高生產力並降低作業成本
處理應用
- 電子元件的脫脂和烘烤
- 陶瓷零件的脫脂 (黏合劑燒除)
- 金屬零件的乾燥和脫脂
- 去除樹脂
- 無法透過傳統方法提高加熱效率的產品的熱處理
* 效果因所處理的材料而異。建議先使用我們的產品試作裝置進行測試以驗證有效性。
範例應用結果
- 電子元件脫脂所需的加熱時間減半
- 較低的加工溫度
批量式
AllFit惰性氣體烤箱INH系列
規格
| 機型 | AF-INH21 | AF-INH100 |
|---|---|---|
| 最高溫度 | 600℃ | |
| 正常溫度 | 室溫 + 60至600°C | |
| 外部尺寸 (mm) | 1485 (W) × 1700 (H) × 2090 (D) | 1850 (W) × 2425 (H) × 2593 (D) |
| 測試區尺寸 (mm) | 600 (W) × 600 (H) × 600 (D) | 1000 (W) × 1000 (H) × 1000 (D) |
| 處理氣氛 | 過熱水蒸氣、氮氣、空氣 | |
| 殘氧濃度 | 20 ppm或以下 (導入過熱水蒸氣時；參考值) 附註：可能因供水中溶氧量而異。 |
|
* 包括額外的安全功能 (安全門和加固門)
批量式高溫
AllFit真空式箱型爐
規格
| 機型 | AF-µBF |
|---|---|
| 最高溫度 (*1) | 1000℃ |
| 正常溫度 (*1) | 400至900°C |
| 有效的內部馬弗尺寸 | 200 (W) × 200 (H) × 400 (D) |
| 處理氣氛 | 過熱水蒸氣、氮氣、空氣、氫氣 |
| 殘氧濃度 | 20 ppm或以下 (導入過熱水蒸氣時；參考值) 附註：可能因供水中溶氧量而異。 |
*1 數值是在加熱室內和馬弗爐外測得的溫度。
連續式
AllFit 810A
規格
| 機型 | AF-810A |
|---|---|
| 最高溫度 | 1000℃ |
| 正常溫度 | 250至900°C |
| 處理氣氛 | 過熱水蒸氣、氮氣、空氣 |
| 皮帶寬度 (mm) | 200 |
| 爐內通過高度 (mm) | 30 |
| 區域設定 | 入口/出口排出室，7 個加熱區 (1704 mm)，冷卻室 (450 mm) |
| 殘氧濃度 | 20 ppm或以下 (導入過熱水蒸氣時；參考值) 附註：可能因供水中溶氧量而異。 |
真空箱型爐ΜB系列
憑藉快速抽空效能，可在短時間內完成氮氣 (N2) 的氣體轉換。
此系列內部容量大，效率高，是生產的理想選擇。這些是適用於生產LTCC基板和MLCC的多用途熱處理爐。
JTEKT Thermo Systems 為實驗提供了各種常壓爐系列，能在400°C至最高1800°C的溫度範圍內進行熱處理。基於我們透過製造這些爐子而開發的技術以及我們的真空和氣氛控制技術，我們進一步改善了能在各種氣氛中進行熱處理的大容量箱式爐。這些爐子可用於量產。
加熱器和隔熱材料採用我們原創的加熱器（JTEKT自製Moldatherm heater），具有出色的隔熱效能和可維護性，適用於具有高精度溫度控制和卓越節能效果的系統。
透過真空淨化，可縮短改變爐內氣氛所需的時間。
也提供用於處理脫脂製程中產生的有機廢氣的可選裝置系列，也可用於MLCC脫脂和LTCC燒製。
產品試作與測試區
熱處理設備的綜合製造商，超越各領域和地域的界限，解決不同領域的熱處理問題
從研發設備到生產設備，透過聚集主要業務領域的技術人員以激發新產品和技術的開發，並安裝我們的實驗和評估產品試作設備，JTEKT Thermo Systems不僅開發自己的製程，而且也提供可用於客戶預先測試和效能評估的系統。
用於電子元件製造的連續爐區
輕巧型電爐和烤箱區
關於JTEKT Thermo Systems
構成工業基礎的成型和製造材料的金屬元件、陶瓷等； 支援最新技術的半導體和電子元件；豐富人們生活的顯示器和控制地球環境污染的新一代電池；以及創造所有這些產業的實驗發展 – 毫不誇張地說，JTEKT Thermo Systems創造的熱處理設備遍及我們生活中的所有產業。憑藉融合跨越半個世紀歷史的五片「科技樹葉」的「科技樹」創造的獨特技術，我們將持續在世界各個領域做出貢獻。
國際辦事處
總公司
1.日本 (天理)
JTEKT Thermo Systems CO., LTD.
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Koyo Thermo Systems KOREA CO., LTD.
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3.中國（上海）
Koyo Thermo Systems TRADING (SHANGHAI) CO.,LTD.
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4.台灣(台北)
Koyo Thermo Systems ASIA CO., LTD.
-
5.台灣 (台中)
Koyo Thermo Systems ASIA TECHNICAL SERVICE OFFICE IN TAICHUNG
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6.泰國 (曼谷)
JTEKT MACHINERY (THAILAND) CO., LTD.
-
SANDVIK THERMAL PROCESS, INC.
-
CRYSTEC TECHNOLOGY TRADING GmbH
