直立式爐管用於在半導體裝置製造過程中處理晶圓，包括成膜、退火和樹脂膜硬化。這些批量處理爐具有垂直排列的石英管，可加熱放置在管子周圍的物體以進行加工。晶圓裝到稱為載體船的石英存放架上，這些架子從製程管的底部裝載/卸載。這些爐子產生的微粒最少，可提供出色的溫度分佈和氣氛控制。此外，晶圓和載體船的自動傳送可進一步提高生產力。
傳統的橫型爐管在批量內和在晶圓表面容易產生不均勻的薄膜厚度以及顆粒和自然氧化膜的產生，且隨晶圓直徑增加，設備本身會需要更多的面積。然而，直立式爐管不受這些問題的限制，這也是它們成為主流流行的因素。

JTEKT Thermo Systems於1970年進入半導體製造設備市場，推出以Tempress Japan品牌製造的橫型熱處理系統。
此後，公司提供廣泛的熱處理技術，在日本和世界各地的半導體產業的成長和發展中扮演重要角色。
我們專注於自己擅長的利基市場，並儘一切努力開發這些市場需要的新技術和設備。
JTEKT Thermo Systems有能力提出各種設備建議 – 從用於研發和最先進裝置的小批量生產設備到全面生產設備 – 可用於提供令人滿意的結果，滿足客戶所需。

直立式爐管系列

產品	VF-5900300mm大批量	VF-5700300mm小批量	VF-53008英寸大批量	VF-51008英寸廣範圍批量	VF-30008英寸低成本小批量	VF-1000少量生產和研發	VFS-4000大口徑直立式爐管
外部尺寸	W1250 × D3200 × H3450 mm	W1250 × D2000 × H2850 mm	W900 × D2300 × H3300 mm	W1000 × D1950 × H3300 mm	W1200 × D1450 × H2610 mm	W1500 × D1000 × H2130 mm	因規格而異
平面區長度	1040 mm	500 mm	960 mm	360至960 mm	至 360 mm	至 250 mm	因規格而異
晶圓尺寸	300 mm	300 mm	6至8英寸	4至8英寸	4至8英寸	至8英寸	因規格而異
批量大小	100片晶圓	50片晶圓	150片晶圓	最高150片晶圓	最高75片晶圓 (8英寸為50片晶圓)	至25片晶圓	20至25片晶圓
庫存數	16 FOUP	-	20個盒	4至8個盒	4至8個盒	-	因規格而異
機械指	5片晶圓 + 單晶圓	5片晶圓 + 單晶圓	5片晶圓 + 單晶圓	5片晶圓 + 單晶圓	單晶圓	-	單晶圓
應用	半導體、SiC功率半導體、MEMS、VCSEL、 PV (光電)						FPD

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相關解決方案案例

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  VCSEL製程的建立

  使用特殊的VCSEL製程專用熔爐大幅提高產量。

  參閱解決方案案例
  • 熱氧化
  • VF-3000(B)
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  提高FPD應用的產量

  達到半導體製造設備清潔度等級的熱處理

  參閱解決方案案例
  • 金屬接觸退火 (適用於FPD)
  • 熔塊燒製(適用於FPD)
  • 脫氫 (適用於FPD)
  • 啟動 (適用於FPD)
  • 固化 (適用於FPD)
  • VFS-4000
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  透過減少爐內污染物提高產量

  透過爐內自動清潔機制減少沉積物

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  • 固化 (適用於FPD)
  • VF-5300(B)
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  提高實驗和開發的準確性

  使用高效能小型直立式實驗爐提高實驗和開發準確度

  參閱解決方案案例
  • 退火
  • VF-1000(H)

直立式爐管最佳化設計

彈性的設備配置

可將附在爐子上的氣箱等移動到後側或地板下，而不是只能放在前側或後側。我們可針對設備區域的限制提出解決方案，改善設備的可維護性。

直立式爐管範例

• 支援變更氣箱配置
• 支援在大氣壓力下使用液體來源進行處理
• 支援硒化 (Se)/硫化 (S) 處理
• 大口徑爐的真空支援 (G4尺寸以上)
• 碳納米管生長設備
• 支援薄晶圓 (80μm以上)
• 支援扇出晶圓的設備
• 大型 FPD聚酰亞胺固化面板的基板支援
• 支援濕式真空加工
• 支援乾式真空 (氧分壓控制) 處理
• 支援使用ClF₃ 進行原位清洗
• 支援處理石英盒的批量運輸
  [概要] 放入晶圓的石英盒在該狀態下依原樣傳送、堆疊並進行熱處理。
• 支援扁平多晶矽 (無溫度傾斜)

* 支援因型號而異。

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產品試作與測試區

熱處理設備的綜合製造商，超越各領域和地域的界限，解決不同領域的熱處理問題

從研發設備到生產設備，透過聚集主要業務領域的技術人員以激發新產品和技術的開發，並安裝我們的實驗和評估產品試作設備，JTEKT Thermo Systems不僅開發自己的製程，而且也提供可用於客戶預先測試和效能評估的系統。

試驗實驗室內部的半導體製造系統區域，必須確保10級或以上的空氣潔淨度。

常見問答集

• 問何處可以購買產品？

  答

  在與客戶確定規格後，我們會為客戶量身打造訂單。我們不透過批發或郵購方式銷售產品。如需詳細資訊，請與我們連絡。

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• 問請告訴我產品價格。

  答

  設備規格和價格因產品而異。請與我們連絡。

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• 問貴公司處理哪些類型的熱處理設備？

  答

  我們提供熱處理設備，可以在成膜過程中對材料 (如矽晶圓、金屬、橡膠、玻璃、塑料和精細陶瓷)加熱或加入反應氣體，以改變這些材料的特性。

  產品資訊

• 問貴公司可以生產產品頁面上未列出的產品嗎？

  答

  請將您的需求寄給我們。我們將提出最好的設備規格。如需詳細資訊，請與我們連絡。

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• 問我可以提前驗證製程嗎？

  答

  我們不出租任何產品，但我們可以進行產品試作以驗證產品的效能。如果您有任何產品試作要求，請與我們連絡。

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• 問我擔心我能不能操作和維護新買的設備。

  答

  我們會在交付購買的設備之前提供訓練，讓客戶和其員工可以放心使用設備。如果您在交貨後有任何問題，我們也會透過電話或電子郵件提供支援。請連絡我們的銷售代表。

  支援

關於JTEKT Thermo Systems

構成工業基礎的成型和製造材料的金屬元件、陶瓷等； 支援最新技術的半導體和電子元件；豐富人們生活的顯示器和控制地球環境污染的新一代電池；以及創造所有這些產業的實驗發展 – 毫不誇張地說，JTEKT Thermo Systems創造的熱處理設備遍及我們生活中的所有產業。憑藉融合跨越半個世紀歷史的五片「科技樹葉」的「科技樹」創造的獨特技術，我們將持續在世界各個領域做出貢獻。

國際辦事處

總公司

1.日本 (天理)

JTEKT Thermo Systems CO., LTD.

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  JTEKT Thermo Systems TRADING (SHANGHAI) CO.,LTD.

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  JTEKT Thermo Systems ASIA CO., LTD.

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  JTEKT Thermo Systems ASIA TECHNICAL SERVICE OFFICE IN TAICHUNG

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  JTEKT MACHINERY (THAILAND) CO., LTD.

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• 8.德國

  CRYSTEC TECHNOLOGY TRADING GmbH

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