解決方案案例
本頁介紹利用JTEKT Thermo Systems的熱處理技術解決客戶問題的範例。查看廣泛的解決方案，包括有助於提高生產力、減少二氧化碳排放和節能的改進方案。
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[case-026] 藉由二氧化碳濃度將脫脂狀態可視化
藉由測量並分析陶瓷的脫脂(BBO)處理中的二氧化碳濃度，將Binder的分解過程可視化。有助於檢討處理條件、減少工時、生產效率改善。
- 脫脂
- 烤箱系列
- AllFit系列
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[case-025] 增進8吋晶圓的生產性
增進SiC Power Device用活性化爐及氮氧化爐的8吋晶圓生產性。現在 1 Batch 已可處理至100片晶圓。
- 氮化物、氧氮化物
- 活化
- VF-5300H
- VF-5300HLP
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[case-024] 可在不同pitch的設備間搬送的Robot
因採用Pitch可變Robot ,可不降低生產性對應6"用SMIF POD。
- 雜質擴散
- 熱氧化
- 退火
- VF-5100
- VF-5300(B)
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[case-023] 燈光退火裝置的真空load lock 搬送
因採用真空搬送機構，可提高產品的特性和生產性。
- 接觸退火
- RLA-4100-V
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[case-022] 過熱水蒸氣連續爐
使用連續爐以過熱水蒸氣氣氛進行熱處理
- 連續爐
- AllFit系列
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[case-021] 回收廢熱以減少環境影響
透過利用廢熱的熱交換系統減少能源消耗
- CCBS系列
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[case-020] 處理粉末用管式爐
開發能對粉末進行均勻熱處理的管式爐
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[case-019] 減少晶圓傳送錯誤
透過選擇晶圓吸附的時間來減少晶圓轉移錯誤
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[Case-018] 提高偵測燈斷線的準確性
透過修改軟體提高偵測燈斷線的準確性
- 退火
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[case-017] 用於扇出晶圓和矽晶圓的潔淨烤箱系統
同一個潔淨烤箱系統可用於處理扇出晶圓和矽晶圓
- 聚酰亞胺固化
- SO2-12-F
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[case-016] 低成本大口徑直立式爐管
透過最佳化所需功能降低大口徑直立式爐管的成本
- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
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[case-015] 大批量式潔淨烤箱系統
批次數量翻倍提高生產力
- 其他
- SO2-12-F
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[case-014] 處理容易損壞的薄晶圓
解決薄晶圓開裂和碎裂引起的運輸問題
- 退火
- VF-5100
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[case-013] 快冷橫型爐管
透過自動移動加熱器可以快速冷卻。
- 退火
- 200型系列
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[case-012] FPD用高效能聚酰亞胺固化系統
減少大型平板基板聚酰亞胺固化過程中的有機副產物沉積物
- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
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[case-011] CNT (碳納米管) 生長系統
用於大直徑晶圓的CNT (碳納米管) 生長系統
- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)
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[case-010] 提高實驗和開發的準確性
使用高效能小型直立式實驗爐提高實驗和開發準確度
- 退火
- VF-1000(H)
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[case-009] 低溫直立式爐管節能
透過最佳化保溫設計提高直立式爐管的節能效果
- 聚酰亞胺固化
- VF-3000(B)
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[case-008] 提高生產力 (重新配置處理過程)
使用高效能直立式爐管可大幅提高生產率
- 退火
- VF-3000(B)
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[case-007] 透過減少爐內污染物提高產量
透過爐內自動清潔機制減少沉積物
- 聚酰亞胺固化
- 抗固化
- VF-5300(B)