詞彙表 - 開發和原型實驗
ㄆP
- 批量處理
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類別：設備相關
一種在盒子或機架上一起處理多個晶圓、玻璃基板或其他產品的方法。雖然一次處理所需的時間長，且這種方法不適合大規模生產，但每次可以在不同條件下進行處理。為了確保批次的均勻性，需要使用一種技術來保持加熱室內均勻的氣體和溫度分佈。
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ㄈF
- 非氧化性氣氛、低氧濃度氣氛
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類別：設備相關
這是透過用惰性氣體 (例如氮氣或氬氣) 替換加熱室內的氣氛而產生的低濃度氧氣的氣氛。
根據工件的不同，可能不與空氣中的氧氣發生反應。在這些情況下，用惰性氣體代替加熱室內的氣氛可以在低氧濃度下進行熱處理。
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- 廢氣燃燒處理設備
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類別：設備相關
此設備燃燒和分解熱處理過程中產生的廢氣中的有機物質，以消除異味和清潔廢氣。脫脂、脫脂或其他過程中產生的含有有機物質的廢氣具有強烈的刺激性氣味，也易燃。如果未經處理排放，將對工作環境和工廠周圍環境產生不利影響，並可能導致爆炸或火災危險。
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ㄊT
- 脫脂
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類別：設備相關
這可以去除產品製造過程中附著在表面和其他零件上的油。
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ㄌL
- 連續加工
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類別：設備相關
在網帶或其他傳輸機構上的工件透過加熱區傳輸時進行的熱處理。由於所有工件均在相同條件下處理，因此適合大批量生產單一產品。
- 爐膛、爐芯管
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類別：設備相關
安裝在爐子中以保持加熱室的氣密性。材料是鉻鎳鐵合金、陶瓷和石英。
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ㄑQ
- 氣封適配器
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類別：設備相關
安裝在爐芯管的兩端，以便在管式爐中保持管內的密封。
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