解決方案案例 [case-021] 回收廢熱以減少環境影響
- CCBS系列
透過利用廢熱的熱交換系統減少能源消耗
問題
在彩色濾光片的製造過程中進行的後烘烤處理中，從彩色抗蝕劑中會產生各種氣體。
當這些氣體在低溫區形成昇華物時，會導致處理過的產品受到顆粒污染並導致產量降低。
為了減少這些昇華物的洩漏，在產生的氣體中加入新鮮空氣以稀釋它們的濃度，但是需要將稀釋的新鮮空氣加熱到處理溫度，這會增加能量消耗。
解決方案
我們採用熱交換系統，從熱處理設備排出的置換氣氛中回收廢熱，並將其用於預熱稀釋新鮮空氣。
結果
廢熱的回收減少了加熱稀釋新鮮空氣所需的能量。
此熱交換系統旨在最佳化流經排氣路徑的廢氣溫度和熱交換率，以減少昇華物在廢熱回收設備上的黏附，並實現免維護結構。
