單片搬送式潔淨烤箱CCBS系列

概要

高生產率

烤箱內的機架間距已減小，機架結構專為每種加工應用而設計 (已獲得專利)。

提供高儲存效率以及出色的空間效率和能源效率。也能靈活操作，例如根據生產數量限制使用的烤箱數量。

高清潔係數和零基材損壞

我們原創的百葉窗結構 (已獲得專利) 不再需要在烤箱內移動基板。因此，不會損壞基板，也沒有移動造成的微粒。

高運作率

設備結構簡單，幾乎不用擔心因機械故障導致設備停機，可以放心使用。

節能

烤箱內部真空控制和高隔熱結構減少了散熱量。
新開發的餘熱回收設備 (申請專利中) 可提高能源的有效利用。

支援多種配置

可根據需要選擇單基板傳送型烤箱、冷卻架等功能裝置的配置，有效利用有限的無塵室空間。

支援各種基板操作

各種基板操作，包括烘烤後對部分基板進行採樣和跳過烘烤過程。我們可以為自動化生產線的建設提供支援。

也可以反昇華。

作為多年來對抗昇華物的措施的結果，我們專利的專業知識使該設備可以毫無問題地用於產生昇華物的製程，例如光刻膠的後烘烤。

規格

支援

• 

  客戶服務

• 

  服務網路