LGO加熱器
LGO加熱器在低溫熱處理中實現高精度。
輕型導線單元加熱器用於半導體擴散爐。
Moldatherm® LGO加熱器是使用陶瓷纖維隔熱材料的輕量、高速升降溫型單元加熱器，專為在半導體擴散爐中進行高精度低溫熱處理而開發。由於加熱線比加熱器（JTEKT自製Moldatherm® heater）的線更細，因此儲存的熱量更少，因此可以實現更高速的升溫和降溫。目標溫度在更短的時間內穩定，均熱效能高，低溫區熱處理精度優異。
LGO加熱器
加熱器採用輕型導線作為加熱元件，並透過真空成型將陶瓷纖維隔熱材料和加熱元件整合到堅固的結構中。由於只儲存少量熱量，因此可以高速加熱和冷卻，且溫度追蹤效能優越。其在均熱方面也很出色，可以在低溫、中溫和高溫下進行高精度的溫度處理。
特性
- 採用我們獨特的真空成型方法，將陶瓷纖維和波浪形加熱元件整合成一個堅固的結構
- 快速升溫和降溫溫度特性
- 優異的低溫穩定性
- 溫度範圍廣
- 電阻加熱重量輕
| 應用 | 擴散用直立式爐管、氧化用直立式爐管 |
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SLGO加熱器
加熱器比LGO加熱器節省更多能源。
特性
- LGO加熱器且相容
| 應用 | 橫型氧化爐、橫型擴散爐、 擴散用直立式爐管、氧化用直立式爐管、 太陽能發電橫型爐管 |
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規格
| 加熱元件尺寸 | 2.0~3.2mm |
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| 加熱器內徑尺寸 | 150~550mm |
| 平面區長度 | 150~1200mm |
| 冷卻方式 | 自然冷卻 |
| 溫度範圍 | 最高1150°C (直立式爐管) 最高1100°C (橫型爐管) |
| 加熱和冷卻特性 | 加熱：> 30°C/min空載 冷卻：< 10°C/min空載 |
| 低溫穩定性 | 過程中200°C±1°C |
* 值因加熱器而異。