HGC加熱器
用於半導體熱處理、高成本效益、長壽命、重型線圈 (HGC) 單元加熱器
這些 HGC加熱器可在高達1250°C的最高工作溫度下使用，單元加熱器可重複執行半導體擴散爐的較高溫度熱處理，因此是最佳選擇。使用重型線圈的熱源非常耐用，使用壽命長。
HGC加熱器
重型線圈和專利墊片的組合，抑制線圈變形。具有優異的高溫耐久性，並具有長使用壽命。此加熱器最適合重複進行高溫熱處理的擴散爐。
特性
- 配置大量互鎖的線圈間隔件，以支撐盤繞的加熱元件。
- 絕緣體的彈性防止加熱元件變形。
- 絕緣體表面塗有氧化鋯，可避免產生顆粒。
- 出色的加熱和冷卻特性
- 優異的高溫穩定性
| 應用 | 擴散爐、 氧化爐、 橫型爐管、 直立式爐管處理器 |
|---|
規格
| 加熱元件尺寸 | 7.3~9.3mm |
|---|---|
| 加熱器內徑尺寸 | 150~400mm |
| 平面區長度 | 150~1200mm |
| 冷卻方式 | 自然冷卻或水冷 |
| 溫度範圍 | 最高1250°C (直立式爐管) (AZTEC) 最高1250°C (橫型爐管) (AZTEC) |
| 最高溫度 | 1250°C (AZTEC) 1200°C (HELIX-II) |
| 加熱和冷卻特性 | 加熱：>20°C/min空載 冷卻：<5°C/min空載 |
| 高溫穩定性 | 過程中1200°C±0.5°C |
| * 值因加熱器而異。 | |