CLH系列高溫潔淨烤箱
透過耐熱的高效能過濾器和獨特的冷卻裝置，可以在清潔的環境中進行高溫烘烤。熱風循環系統用於高精度地進行晶圓和玻璃基板的烘烤/老化、聚酰亞胺固化和退火。
特性
- 安裝耐熱高效能過濾器和我們獨特的冷卻裝置，可實現高溫烘烤。
- 在溫度穩定的情況下，腔體內部可保持100級潔淨度。
- 有兩種熱風鼓風機類型：水平循環前鼓風機 (V型)和側鼓風機 (III型)。兩者都實現了高熱效率和良好的溫度均勻性。
- 這種類型的烤箱最適合半導體晶圓和玻璃基板的烘烤、老化和其他需要高精度的熱處理。
- 可以將惰性氣體導入腔室，以將烤箱用作惰性氣體烤箱。
概要
提供2種類型的熱風鼓風機，側鼓風機型 (III型)和前鼓風機型 (V型)。潔淨烤箱配備耐熱高效能過濾器和我們獨特的冷卻裝置，可在高達530°C (或 V型高達500°C) 下進行高溫處理。靠著於熱風循環系統實現的出色溫度均勻性和100級空氣潔淨度 (溫度穩定時)，潔淨烤箱最適合半導體晶圓和玻璃基板的烘烤、老化和其他需要高溫和高精度處理的用途。也可以將氮氣導入腔室，以在20 ppm或以下的殘餘氧氣濃度下使用烤箱。
高溫烘烤由耐熱高效能過濾器和我們獨特的冷卻裝置實現。
| 應用 | 半導體晶圓和玻璃基板的烘烤和固化 |
|---|---|
| 選用件 | 氧氣濃度計、信號塔、冷阱、緊急停機、漏水偵測器 |
規格
| 外部尺寸 | CLH-21CD (H) W1285×D1605×H2020 mm CLH-35CD (H) W1285×D1775×H2080 mm |
|---|---|
| 內部尺寸 | CLH-21CD (H) W670×D500×H700 mm CLH-35CD (H) W670×D670×H790 mm |
| 加熱方式 | 熱風循環 |
| 加熱器 | 護套加熱器 |
| 工作溫度 | 100至450°C (標準型) 100至530°C (H型) |
| 晶圓尺寸 | φ100至300mm 其他 (矩形基板等) |
| 批量大小 | 25至200片晶圓 (1至8個盒) |
| 標準配件 | 擱板 (2個) 承載能力15kg/盤 |
| 選用件 | 氧氣分析儀 |
