200型系列量產~實驗用橫型爐管
從小型實驗和研究 (研發) 到大規模生產，這些爐子的設計都可以滿足使用者的需求。
這些橫型爐管可用於太陽能電池和光電發電系統 (PV) 的生產以及矽晶圓。
特性
- 從實驗使用到量產，多種設備配置可供選擇
- 批量：可處理25至150片晶圓
- 實施1至4堆爐配置，以利用有限的可用矩形空間
- 提供2至8英寸晶圓尺寸
- 提供LGO低溫和中高溫加熱器、HGC高溫加熱器，溫度效能優異
- 根據客戶的使用、空間和預算的需求，提出各種設備配置
- 簡單且裝備精良的控制系統
概要
這些橫型爐管的設計可以滿足使用者從3、4、6和8英寸晶圓以及125mm和156 mm矩形晶圓的實驗和研究 (研發) 到批量生產的要求。除矽晶圓外，該爐還可用於太陽能電池和光電發電系統 (PV) 生產，採用POCl3、BBr3等進行磷擴散、硼擴散、熱解氧化、濕法氧化、乾法氧化、退火等。
規格
| 加熱器 | LGO加熱器、HGC加熱器 |
|---|---|
| 平面區長度 | 250 mm至800 mm |
| 溫度控制 | 3區 |
| 運送設備 | 載體船升降機、 載體船機、 懸臂式裝載機、軟裝載機 |
| 製成品 | 3~8英寸矽晶圓 125至156 mm矩形晶圓 |
