VF-5300HLP活性化退火爐
可進行超高溫處理的直立式爐管，是功率裝置製造的理想選擇。支援3至6英寸晶圓，並具有自動晶圓傳輸機制。可用於從研發到量產的應用。
特性
- 每批量支援最多100片晶圓，並使用於量產生產線。
- 支援從6到8英寸的各種晶圓尺寸。
- 爐內採用我們專利的無金屬結構。
- 可在晶圓附近進行溫度監控。
- 氮氣負載鎖定作為標準功能提供。
- 高處理量盒到盒的運輸
- 氫氣氣氛退火與溝槽倒圓為可選項。
概要
VF-5300HLP是一款直立式爐管，每批量最多可處理100片晶圓，以及從6到8英寸的各種晶圓尺寸。精心挑選的硬體和控制系統功能，支援用於批量生產線。爐內採用我們專利的無金屬結構。VF-5300HLP支援超高溫活化退火製程。
規格
| 工作溫度範圍 | 700至1,900°C (700至1,800°C，用於氫氣退火) |
|---|---|
| 支援的晶圓尺寸 | 6至8英寸 |
| 最大批號數 | 100片晶圓 |
| 使用的氣體 | 氮氣、氬氣、氫氣 (可選項) |
| 應用 | SiC功率裝置、量產、活化退火 |
