解決方案案例 [case-014] 處理容易損壞的薄晶圓
- 退火
- VF-5100
解決薄晶圓開裂和碎裂引起的運輸問題
| 支援流程 | 退火 |
|---|---|
| 型號介紹 | VF-5100型 |
問題
薄晶圓會發生較大的不規則變形，例如晶圓翹曲和彎曲。因此，當透過機器人在晶圓盒和石英舟之間交接晶圓進行處理時，超過允許交接量的晶圓會因接觸等而破損，無法進行穩定的處理。
解決方案
變更為不在熱處理設備中傳送晶圓的規格。將晶圓盒改為石英，並使得運輸薄晶圓石英盒成為可能。
結果
透過在不直接接觸晶圓的情況下透過盒傳送薄晶圓，可以穩定地傳送而不會受到諸如晶圓翹曲或彎曲等變形的影響。
