FPD 与薄膜制造设备
我們致力於追求平板顯示器、薄膜材料和片材製造領域所需的清潔效能和均勻的熱處理品質。
JTEKT Thermo Systems致力於為平板顯示器、薄膜材料和片材製造中使用的各種熱處理做出貢獻。例如，我們用於液晶顯示器 (LCD)和有機 EL (OLED) 等產品的清潔加熱系統，以及我們用於高效能薄膜和可充電電池電極材料等片狀材料的熔爐。
用這類設備處理的工件在影響設備效能的材料和製程方面都在迅速發展，其應用已擴展到新的領域。由於生產設備要求具有革命性的效能，JTEKT Thermo Systems運用我們過去累積的豐富經驗和技術，提出滿足客戶需求的全新解決方案。
用於平板顯示器的潔淨烤箱
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單片搬送式潔淨烤箱
CCBS系列高生產率、高清潔係數、無損傷。支援氣體環境中的操作
應用：彩色濾光片抗蝕劑後烘烤、退火、密封主固化/預固化、烘烤聚酰亞胺塗層 -
單片搬送式IR烤箱
CCBS - IR系列高清潔度下的高加熱效率
支援氣體環境中的操作
應用：烘烤聚酰亞胺塗層、退火、烘烤鈍化膜、密封主固化/預固化
其他設備
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滾軸式連續爐
RH系列清潔和改善工作環境。
應用：FPD、太陽能電池板的各種漿料和薄膜的高溫烘烤
如需詳細資訊，請與我們連絡。 -
樹脂帶式乾燥爐
RB系列採用樹脂輸送帶，基材無張力。
透過減少爐內粉塵的產生來實現清潔環境 (100級)。
應用：保護片和薄膜的熱處理
如需詳細資訊，請與我們連絡。 -
批量潔淨烤箱CBS系列
我們專利的密封結構可透過充入惰性氣體進行抗氧化處理。
如需詳細資訊，請與我們連絡。
超高溫HEPA過濾器允許最高工作溫度為500°C。
採用烤箱強製冷卻機制和更快的基板傳輸，可實現高產量。
應用：LTPS (低溫多晶矽)和 TFT 的各種退火 -
步進式潔淨烤箱WB系列
烤箱內運輸採用清潔效能優越的步進樑系統。
如需詳細資訊，請與我們連絡。
透過使用耐熱盒進行玻璃基板的批量運輸，實現高生產效率。
應用：玻璃基板的退火