高温洁净烘箱 CLH 系列
使用耐热高性能过滤器和独特的冷却装置，可在清洁环境中进行高温烘烤（最高 530°C（V 型最高 500°C））。
热风循环系统可实现出色的温度均匀性和 100 级空气洁净度（当温度稳定时）。
这种类型的烘箱适用于半导体晶圆和玻璃基板烘烤、老化以及其他需要高温和高精度的热处理。
通过将氮气 (N2) 引入腔室，可以在 20 ppm 或更低的残余 O2 浓度下进行热处理。
特性
- 安装了耐热高性能过滤器和独特的冷却装置，可进行高温烘烤。
- 当温度稳定时，腔室内部可保持 100 级清洁度。
- 有两种热风机类型：水平循环前侧风机（V 型）和侧风机（III 型）。两者都能实现较高的热效率和良好的温度均匀性。
- 适用于半导体晶圆和玻璃基板烘烤、老化和其他需要高精度的热处理。
- 可将惰性气体引入腔室，将烘箱用作惰性气体烘箱。
规格
| 型号 | CLH-21CD(Ⅲ) | CLH-21CDH(Ⅲ) | CLH-21CD(V) | CLH-35CD(Ⅲ) | CLH-35CDH(Ⅲ) |
|---|---|---|---|---|---|
| 系统 | 强制循环（侧流） | 前鼓风机式强制循环 | 强制循环（侧流） | ||
| 最高工作温度 (*1) | 450°C | 530°C | 500°C | 450°C | 530°C |
| 正常工作温度范围 (*1) | RT + 70 至 450°C | RT + 70 至 530°C | RT + 70 至 500°C | RT + 70 至 450°C | RT + 70 至 530°C |
| 温度分布精度 (*2) | ±5°C（450°C） | ±8°C（530°C） | ±5°C（500°C） | ±5°C（450°C） | ±8°C（530°C） |
| 达到最高温度的时间 (*1) | 80 分钟或更短时间（RT + 70 至 450°C） | 90 分钟或更短时间（RT + 70 至 530°C） | 80 分钟或更短时间（RT + 70 至 500°C） | 70 分钟或更短时间（RT + 70 至 450°C） | 120 分钟或更短时间（RT + 70 至 530°C） |
| 冷却时间（参考值） | 90 分钟或更短时间（450 至 100°C） | 100 分钟或更短时间（530 至 100°C） | 90 分钟或更短时间（500 至 100°C） | 100 分钟或更短时间（450 至 100°C） | 120 分钟或更短时间（530 至 100°C） |
| 洁净度 | 100 级（当温度稳定时） | ||||
| 过滤器 | 耐热高性能过滤器 | 耐热高性能过滤器 | |||
| 最终氧浓度 | 20 ppm 或更低 | ||||
| 达到 20 ppm 的时间 | 45 分钟或更短时间（N2 注入 250 L/分钟） | 50 分钟或更短时间（N2 注入 250 L/分钟） | |||
| 温度控制 | 编程器 | ||||
| 读数精度 | 不到 500°C：±0.5°C 500°C 或更高：±（显示值的 0.1%） |
||||
| 存储容量 | 总共 1024 段（最多 99 个模式） | ||||
| 控制操作 | 自动调谐 PID 控制 | ||||
| 加热器输出 | 33.6 kW (200 V) | 21 kW (200 V) | 48.3 kW (200 V) | ||
| 温度记录仪 | 单笔记录仪（控制点记录，热电偶 K） | ||||
| 热电偶 | K | ||||
| 外部尺寸 (mm) | 1285 (W) × 2020 (H) × 1605 (D) | 1180 (W) × 2110 (H) × 1670 (D) | 1285 (W) × 2080 (H) × 1775 (D) | ||
| 内部尺寸 (mm) | 670 (W) × 700 (H) × 500 (D) | 700 (W) × 700 (H) × 500 (D) (*3) |
670 (W) × 790 (H) × 670 (D) | ||
| 货架承受载荷（均布载荷） | 15 kg/货架 | ||||
| 设备重量 | 约 1050 kg | 约 1100 kg | 约 1250 kg | ||
| 内部压力计 | 0 至 2 kPa | ||||
| 清洁仪表 | 0 至 1 kPa | ||||
| 排气口尺寸 | 1B、球阀止动器 | ||||
| 断路器容量 | AC 200 V、150 A、三相、50/60 Hz | AC 200 V、100 A、三相、50/60 Hz | AC 200 V、175 A、三相、50/60 Hz | ||
| 安全设备 | 漏电断路器、防过热测量仪、电机过载保护器、 控制电路保护器、低冷却剂流速检测器 |
||||
| 配件 | 2 个货架（支撑角托） | ||||
| 应用 | 半导体晶圆和玻璃基板的烘烤和固化 | ||||
(*1) 加热器温升能力，加热室内控制点的值。
(*2) 有效尺寸为内部尺寸的 2/3。
(*3) 内部宽度为 700 mm，但开口尺寸为 630 mm。
