JTEKT Thermo Systems
立式炉管
立式炉管用于半导体器件制造过程中的晶圆处理，包括薄膜形成、退火和树脂膜硬化。这些间歇处理炉有一个垂直排列的石英管，用于加热放置在管子周围的物体，以便进行处理。晶圆将装载到称为“晶舟”的石英存储架上，从工艺管底部装载/卸载。由于产生的颗粒最少，该熔炉提供了良好的温度分布和气氛控制。此外，自动晶圆和晶舟传输有可能进一步提高生产力。
传统的卧式炉管容易在一个批次内和晶圆表面上产生不均匀的薄膜厚度，以及生成颗粒和自然氧化膜，由于晶圆直径增大，设备本身需要占用更多的空间。但是，立式炉管不受这些问题的限制，因此受到主流应用欢迎。
1970 年，随着以 Tempress Japan 品牌制造的卧式热处理系统的发布，JTEKT Thermo Systems 进入半导体制造设备市场。
此后，该公司提供了广泛的热处理技术，在日本和世界各地半导体行业的增长和发展中发挥了重要作用。
我们专注于我们擅长的利基市场，并尽一切努力开发市场所需的新技术和设备。
JTEKT Thermo Systems 能够提供各种设备，从用于研发和先进器件的小批量生产设备，到全系列生产设备，可以带来符合客户要求的满意结果。
立式炉管系列
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| 外部尺寸 | W1250 × D3200 × H3450 mm | W1250 × D2000 × H2850 mm | W900 × D2300 × H3300 mm | W1000 × D1950 × H3300 mm | W1200 × D1450 × H2610 mm | W1500 × D1000 × H2130 mm | 因规格而异 |
| 均热区长度 | 1040 mm | 500 mm | 960 mm | 360 至 960 mm | 至 360 mm | 至 250 mm | 因规格而异 |
| 晶圆大小 | 300 mm | 300 mm | 6 至 8 英寸 | 4 至 8 英寸 | 4 至 8 英寸 | 至 8 英寸 | 因规格而异 |
| 批量大小 | 100 片一体式 | 50 片一体式 | 150 片一体式 | 最高150 片一体式 | 最高75 片一体式（8 英寸为 50 片一体式） | 至 25 片一体式 | 20 至 25 片一体式 |
| 存货数量 | 16 FOUP | - | 20 盒 | 4 至 8 盒 | 4 至 8 盒 | - | 因规格而异 |
| 机器人手指 | 5 片一体式 + 单片式 | 5 片一体式 + 单片式 | 5 片一体式 + 单片式 | 5 片一体式 + 单片式 | 单片式 | - | 单片式 |
| 应用 | 半导体、SiC 功率半导体、MEMS、VCSEL、PV（光伏） | FPD | |||||
相关解决方案案例
立式炉管优化设计
灵活的设备布局
可以将连接到熔炉的气柜等移动到后侧或地板下面，而不仅仅是前后方。我们可以避开设备区域的限制，并提高设备的可维护性。
立式炉管示例
- 支持气柜布局更改
- 支持在大气压下使用液体源进行处理
- 支持硒化/硫化处理
- 为大口径熔炉（G4 或更大尺寸）提供真空支持
- 碳纳米管生长设备
- 支持薄晶圆（80μm 或以上）
- 支持扇出型晶圆的设备
- 为大型 FPD 聚酰亚胺固化面板提供基板支持
- 支持湿真空处理
- 支持干真空（氧分压控制）处理
- 支持使用 ClF3 进行现场清洁
- 支持处理石英盒的散装运输
[摘要]装有晶圆的石英盒按原样转移、堆叠，并在该状态下进行热处理。 - 支持平面多晶硅（无温度倾向）
*支持因型号而异。
产品试制和测试区域
综合型热处理设备制造商，超越领域和地域的边界，解决不同领域的热处理问题
从研发设备到生产设施，通过集结主要业务领域的技术人员，促进新产品和技术开发，并安装用于实验和评估的试制设备，JTEKT Thermo Systems 不仅开发自己的工艺，还提供可用于客户预先测试和性能评估的系统。
半导体制造系统区域。在实验室内，必须确保空气洁净度达到 10 级或更高。
常见问题
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- 问在哪里可以买到产品？
- 答
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- 问请告诉我产品的价格。
- 答
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- 问你们提供哪些热处理设备？
- 答
我们提供的热处理设备可以在成膜过程对材料（如硅晶片、金属、橡胶、玻璃、塑料和精细陶瓷）进行加热或添加反应气体，以改变这些材料的特性。
产品信息
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- 问你们可以生产产品页面上没有列出的产品吗？
- 答
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- 问我可以提前验证流程吗？
- 答
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- 问我担心自己是否能操作和维护新购买的设备。
- 答
我们在交付所购设备前提供培训，以便客户及其员工可以放心地使用设备。如果您在交付后有任何疑问，我们也会通过电话或电子邮件提供支持。请联系我们的销售代表。
支持
关于 JTEKT Thermo Systems
构成行业基础的成型和加工材料的金属成分、陶瓷等；支持最新技术的半导体和电子元件；丰富人们生活的显示器和控制全球环境污染的下一代电池；创建所有这些行业的实验性发展——毫不夸张地说，JTEKT Thermo Systems 创建的热处理设备涉及我们生活中的各行各业。我们的“技术树”融合了五片培育半个世纪的“技术叶子”，凭借技术树创造的独特技术，我们不断向前发展，致力于为世界各个领域做出贡献。
国际办事处
总部
1.日本（天理）
JTEKT Thermo Systems Corporation
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KOYO THERMO SYSTEMS KOREA CO., LTD.
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3.中国（上海）
光洋热处理设备贸易（上海）有限公司
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4.台湾（台北）
KOYO THERMO SYSTEMS ASIA CO., LTD.
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5.台湾（台中）
KOYO THERMO SYSTEMS ASIA TECHNICAL SERVICE OFFICE IN TAICHUNG
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6.泰国（曼谷）
JTEKT MACHINERY (THAILAND) CO., LTD.
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SANDVIK THERMAL PROCESS, INC.
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CRYSTEC TECHNOLOGY TRADING GmbH