MLCC/LTCC 制造设备

由于采用了网带结构和马弗炉，这些连续炉可提供出色的气氛稳定性和再现性。这使其非常适合 MLCC 脱脂、电极烧成和 LTCC 烧制应用。

自 1980 年为日本电子行业交付第一台设备以来，JTEKT Thermo Systems 已经交付了 4,000 多台网带式连续炉用于制造电子元件。

由于采用了金属马弗炉，炉内的温度均匀性极佳。此外，熔炉气氛提供了优异的气密性，以及更高的稳定性和再现性。

采用具有 JTEKT Thermo Systems 隔热技术和先进温度变化特点的加热器（JTEKT自制 Moldatherm heater），可确保高精度温度控制以及出色的节能效果。因而这些产品非常适合用于 MLCC 和 LTCC 制造中的热处理生产线。

此外还提供一系列可选装置，用于处理脱脂过程中产生的有机废气，确保可选择各种处理设备，满足不同应用的需求。

这些高性能惰性气体烘箱能够在氧气浓度低至 20 ppm 的气氛中，在高达 600°C 的温度下进行热处理。该系列非常适合 MLCC 和 LTCC 脱脂应用。

JTEKT Thermo Systems 利用常压烘箱生产中的基础技术，开发出惰性气体烤箱和洁净烘箱。该公司现已交付 4,000 多台烘箱。

这些惰性气体烘箱采用专有的腔室结构和密封技术，具有良好的气密性和温度均匀性，同时确保更好的稳定性和再现性。

此外，通过采用由冷却鼓风机驱动的外部冷却机构，可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，从而缩短处理时间。

此外还提供一系列可选产品，包括有机废气处理装置，以及脱脂专用设备所需的更高安全规格，以确保安全可靠的 MLCC 和 LTCC 生产。

该设备采用高温直接燃烧法来精确净化处理产品产生的有机蒸汽。非常适合用于进行脱脂的热处理设备的废气处理。

在陶瓷的临时烧结过程和电子元件的脱脂过程中，处理的物体会产生含有有机化合物的蒸汽。这种在炉内气氛中扩散的气体作为废气从热处理设备中排出。但是，该气体具有强烈的刺激性气味且易燃，可能会导致恶劣的工作环境，并带来火灾和爆炸风险。解决这些问题的对策是净化气体，但如何净化是一个挑战。

JTEKT Thermo Systems 发布了 GM 系列，该系列采用直接燃烧法来精确净化废气，从而改善工作环境并提高安全性。目前，全球有 700 多台 GM 系列装置在生产线上运行。

直接燃烧法的结构比催化燃烧法简单，并且对焦油和灰尘有很高的耐受性，这使其能够用于对各种物质进行废气处理。

GM 系列向废气中添加新鲜空气，并在加热至燃点温度或以上（最高 850°C）的马弗炉内准确执行有机物的直接燃烧分解。热源采用电阻加热器（JTEKT Thermo Systems 制造的 Moldatherm 加热器），因此无需安装燃气装置以及用明火燃烧目标物的气体燃烧法所需的其他此类设备。这降低了设备安装时的成本。高度可靠的加热器（JTEKT自制 Moldatherm heater）可通过其出色的节能性能和温度控制实现稳定的废气处理。

我们建议该设备与惰性气体烘箱、脱脂炉或网带式连续炉配套使用。将该设备与 JTEKT Thermo Systems 热处理设备相结合，可实现联动操作和联锁，确保更高效、更安全的操作。

为了提供满足所有客户需求的热处理技术，JTEKT Thermo System 开发出利用过热蒸汽气氛的制造设备系列。

这些热处理设备可分为间歇式或连续式。JTEKT Thermo System 还提供一系列用于实验性研发、小批量生产和大批量生产的产品。

间歇式

AllFit 惰性气体烘箱 INH 系列

规格

*包括其他安全特性（安全门和加固门）

间歇式高温

AllFit 真空箱式炉

规格

*1 这些值是在加热室内部和马弗炉外部测量的温度。

连续式

AllFit 810A

规格