电子元件制造设备

连续炉和连续式烘箱具有出色的热均匀性处理和气氛形成,有助于电子元件的制造

在电子研发设备领域,从大型生产系统到紧凑型电炉和烘箱,我们推出了大量满足各种需求的产品,这些产品均采用我们自成立以来积累的大量技术经验和专业知识制造而成。我们提供出色的热响应、精确的温度分布、节能和详细的定制,并将日常生产车间的维护、安全和其他方面融入我们的产品中。随着设备继续朝着更高密度、更先进的方向发展,现有的加热技术也将有助于未来发展。

All Fit 系列

具有过热蒸汽气氛的制造设备,可满足各种需求。过热蒸汽是无色透明的高温蒸汽 (H2O),通过获得在 100°C 的温度下蒸发的饱和蒸汽并将其加热至更高温度而产生。因为其比热高于热空气并产生辐射效应,所以能够快速、均匀地进行加热。也可以在低氧气氛中进行处理(残余氧浓度为 20 ppm 或更低)。

应用:饱和蒸汽可用于 MLCC 和 LTCC、静电卡盘及其他电子和陶瓷元件的脱脂和烧制,以及金属元件的干燥和脱脂。

连续炉

连续输送式热处理炉。除了空气外,还可以在氢气 (H2)、氮气 (N2) 或其他气氛中进行热处理。除了网带式连续炉外,该系列还包括采用具有优异耐热性和耐磨性的陶瓷传送带的型号。

应用:这些产品用于 MLCC、LTCC 和电感器的烧制、厚基板的烧制、电极干燥、钎焊、玻璃密封和铁氧体烧结等应用。

烘箱系列

热风循环系统使烘箱具有出色的均热性能。能够在 N2 气氛下进行处理,残余氧气浓度不超过 20 ppm。该系列包括惰性气体烘箱和清洁度为 100 级的洁净烘箱。

应用:适用于 MLCC、LTCC 和电感器的脱脂、干燥、固化、退火、硬化和回火。

连续式烘箱

这些连续式烘箱利用洁净烘箱技术进行 FPD 生产和实验。可用于电子元件、磁盘、环氧玻璃基板(环氧树脂/玻璃层压基板),以及薄膜干燥、固化和退火。

应用:还可用于 MLCC 的脱脂。