单片式洁净烘箱 CCBS 系列

概述

高生产率

烘箱内的机架间距减小，机架结构专为每个加工应用而设计（已获得专利）。

它提供较高的存储效率，同时具有优异的空间效率和能源效率。它还能够灵活操作，例如根据生产数量限制所用烘箱数量。

高清洁系数和零基板损坏

我们的原创百叶窗结构（已获得专利）无需移动烘箱内的基板。因此，不会因移动而导致基板损坏或产生颗粒。

高开工率

由于设备结构简单，几乎不用担心机械故障导致设备停止，可以放心使用。

节能

烘箱内部真空控制和高隔热结构减少了散热量。
新开发的废热回收设备（正在申请专利）可以提高能源的有效利用率。

支持各种布局

可以根据需要选择单基板转移型烘箱、冷却架和其他功能装置的布局，从而有效利用有限的洁净室空间。

支持各种基板操作

各种基板操作，包括烘烤后对一些基板进行取样，以及跳过烘烤流程。我们可以为自动化生产线的建设提供支持。

还可以应对升华物。

由于多年来采取了一些措施来应对升华物，我们的专有知识使该设备能够在产生升华物的流程（例如光刻胶的后烘烤）中放心使用。

规格

支持

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  客户服务

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  服务网络