LGO 加热器
LGO 加热器可实现高精度低温热处理。
细导线单元加热器适用于半导体扩散炉。
Moldatherm® LGO 加热器是一种轻质、高速升温和降温型单元加热器，采用陶瓷纤维隔热材料制成，用于进行高精确低温热处理，尤其适用于半导体扩散炉。因其加热器导线比加热器（JTEKT自制 Moldatherm® heater）导线更细，所以蓄热更少，温度的升降速度更快。目标温度可在更短时间内趋于稳定，均热性能高，低温区的热处理精度也很高。
LGO 加热器
该加热器使用细导线作为加热元件，并运用真空成型技术将陶瓷纤维热绝缘材料与加热元件集成到一个固体结构中。因为蓄热较少，所以可以高速加热和冷却，温度跟随性卓越。除此之外，该加热器的均热性能也非常出色，可以在低温、中温和高温下实现高精度温度处理。
特性
- 运用我们独特的真空成型方法，将陶瓷纤维和波浪形加热元件集成到一个固体结构中。
- 快速加热和冷却特性
- 低温稳定性卓越
- 温度范围广
- 支持电阻加热，重量轻
| 应用 | 立式扩散炉、立式氧化炉 |
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SLGO 加热器
该加热器比 LGO 加热器更加节能。
特性
- LGO 加热器和兼容
| 应用 | 卧式氧化炉、卧式扩散炉、 立式扩散炉、立式氧化炉、 太阳能发电卧式炉管 |
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规格
| 加热元件尺寸 | 2.0 至 3.2mm |
|---|---|
| 加热器内部尺寸 | 150 至 550mm |
| 均热区长度 | 150 至 1200mm |
| 冷却方式 | 自然冷却 |
| 温度范围 | 最高 1150℃（立式炉管） 最高 1100℃（卧式炉管） |
| 加热和冷却特性 | 加热：无负载时 >30℃/分钟 冷却：无负载时 <10℃/分钟 |
| 低温稳定性 | 加工过程中 200℃ ± 1℃ |
* 不同的加热器数值也会不同。