206A 型太阳能发电卧式炉管
这款卧式炉管适用于太阳能电池和光伏 (PV) 电池生产。可以批量处理 100*100mm 至 156*156mm 晶圆，每批 200 至 400 片一体式。
特性
- 国内市场份额排名第一
- 处理 100*100mm 至 156*156mm 晶圆
- 批次：可处理 200 至 400 片一体式（取决于均热区长度和晶圆间距）
- 使用 KTS 的独家 LGO 加热器，进行快速加热和冷却，并降低功耗
概述
这款太阳能电池和光伏 (PV) 电池制造卧式炉管可处理 100*100mm 和 156*156mm 的光伏电池以及 3 英寸和 8 英寸晶圆。该卧式炉管适用于太阳能电池和光伏 (PV) 电池生产，可使用 POCl3、BBr3 和其他材料进行磷扩散、硼扩散、热原氧化、湿氧化、干氧化、退火和其他晶体系统热处理。
规格
| 外部尺寸 (mm) | W850 x L6700 x H2500 mm（三段炉） |
|---|---|
| 加热器 | LGO 加热器 |
| 均热区长度 | 1000 mm |
| 温度控制 | 3 至 5 区 |
| 传输设备 | 晶舟搭载机 |
| 制成品 | 3 至 8 英寸硅晶片 100*100mm 至 156*156mm 晶圆 |
