解决方案案例 [case-002] 制定 VCSEL 工艺
- 热氧化
- VF-3000(B)
借助特殊的 VCSEL 工艺专用炉，显著提高了产量。
| 支持工艺 | 热氧化 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-3000(B) |
问题
我们解决了 VCSEL（表面发射激光器）AIA 层低温湿式氧化法的再现性挑战。
解决方案
- 在这套工艺中可能存在高维温度再现性，因此采用了我们专有的 LGO 加热器。
- 我们采用了汽化器和专有的熔炉结构，以提高湿空气的可控性。
- 该工艺在产品试制过程中得到了验证。
- 我们建议客户考虑具有自动传输功能的低成本 VF-3000，客户采纳了我们的建议。
结果
- 孔径变化减少了一半，从而大大提高了产量。发现了批量生产的潜力。
