术语表 - FPD 与薄膜制造
C
- 彩色光阻剂
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分类：应用
指以彩色滤光片所用颜料为基础的油墨。具体为以下三种颜色：R（红）、G（绿）和 B（蓝）。在彩色滤光片的生产过程中，通过曝光和显影去除玻璃基板上光阻剂中的非必要成分，然后对光阻剂进行烘烤，使其固化。
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- 彩色滤光片
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分类：应用
彩色滤光片用于显示图像或视频的颜色。当光线通过彩色滤光片时，将会赋予颜色信息。FPD 以及智能手机和数码相机的图像传感器中会用到彩色滤光片。
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D
- 单片式加工/单基板加工
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分类：设备相关
此加工方法一次仅加工一片一体式、玻璃基板、薄膜等产品。此方法适用于在短时间内生产少量多种类产品的生产线。另外，由于基板是逐一加工的，因此可实现更精细的控制。在需要快速升温和精细化大气控制的工艺中，甚至是在批量生产线上，都需要采用单片式加工方式。
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- 钝化膜
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分类：应用
指一种可保护半导体元件免受灰尘和湿气影响的薄膜。
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F
- FPD
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分类：应用
FPD 是 Flat Panel Display（平板显示器）的缩写，也是薄型平板显示器的通称。具体包括智能手机、PC、电视和其他设备的显示器、等离子显示器、有机 EL 显示器、FED（场发射显示器）和电子纸。
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I
- IGZO
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分类：应用
指一种通过氧化铟 (In)、镓 (Ga) 和锌 (Zn) 而产生的结晶性氧化物半导体。这是一种近乎透明的薄膜，可用于生产高精度、低能耗液晶面板。
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J
- 洁净烘箱
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分类：设备相关
一种能够捕集和过滤空气中灰尘和其他物质的烘箱。在进行热处理的腔室中循环的空气已通过过滤器，因此可以在清洁的环境中进行热处理。
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L
- LCD
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分类：应用
LCD 是 Liquid Crystal Display（液晶显示器）的缩写，这是一种显示设备中使用液晶的显示器。
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- LCD 单元
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分类：应用
LCD 单元由相互贴合的 TFT 阵列基板和彩色滤光片基板组成，二者之间充满液晶。
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- LTPS
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分类：应用
LTPS 是 Low Temperature Polysilicon（低温多晶硅）的缩写。根据半导体（硅）的晶体结构，TFT 分为非晶硅和多晶硅。主要用于智能手机等设备，因为相比非晶硅，多晶硅的液晶反应速度更快，而且使用多晶硅的液晶面板精度更高，能耗更低。
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O
- OLED
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分类：应用
OLED 是 Organic Light-Emitting Diode（有机发光二极管）的缩写，这是一种使用有机化合物材料制成的发光二极管。OLED 元件的特点是在电流作用下会发光。
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- OLED 显示器
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分类：应用
指使用 OLED 制成的显示器。由于 OLED 元件本身会发光，不需要像液晶显示器 (LCD) 一样使用背光灯，所以这种显示器可以做得更薄。
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P
- 配向膜
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分类：应用
指一种非常薄的薄膜，液晶元素按特定方向排列。这种薄膜是生产液晶显示器的基础材料。
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- 批量加工
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分类：设备相关
在晶盒或晶架中同时加工多片一体式、玻璃基板或其他产品的方法。适用于大量生产少数产品。为确保批量加工的均匀性，需采用能够在加热室中保持气体和温度均匀分布的技术。
R
- 热回收设备/热再利用装置
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分类：设备相关
该设备装有热交换系统，可利用加热设备的废热来预热注入加热设备的空气。通过利用废热可以减少能耗。
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S
- 升华物/升华
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分类：工艺
在彩色滤光片的制造过程中，彩色光阻剂中会产生各种气体。这些气体在低温区形成升华物时，会对处理过的产品造成颗粒污染，导致产量下降。因此，需要采取应对措施来减少升华物的泄漏。我们的单基板转移型洁净烘箱具有应对升华物的功能，可以放心进行会产生升华物的处理。
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