解决方案案例 [case-009] 低温立式炉管节能
- 聚酰亚胺固化
- VF-3000(B)
优化隔热设计，增强立式炉管节能效果
| 支持工艺 | 聚酰亚胺固化 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-3000 小批量单片式立式炉管 |
问题
配备 LGO 加热器 (Moldatherm) 的立式炉管可以进行从低温（200 摄氏度）到高温（1150 摄氏度）的各种高质量热处理。为了实现节能，我们一直专注于中高温范围（600 至 1100 摄氏度）的加工炉，但在低温生产线中使用中高温加工炉时，存在一个问题，即用于加热隔热材料的电能超出实际所需的电能。
解决方案
- 开发专用于低温范围的 LGO 加热器。
- 优化隔热材料在工作温度范围内的热容和散热平衡。
- 制作出一个加热器原型并验证了其性能。
结果
- 降低功耗：1.1kWh/次运行*
- 减少二氧化碳排放：742kg/年*
（备注*：计算示例的条件）
应用：聚酰亚胺固化
加工晶圆：6 英寸 × 75 片一体式
年加工次数：6 次运行/天 × 300 天/年
