解决方案案例 [case-011] CNT（碳纳米管）生长系统
- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)
用于大直径晶圆的 CNT（碳纳米管）生长系统
| 支持工艺 | CNT（碳纳米管）生长 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-1000LP |
问题
客户正在小直径管式炉中测试，但为了增大晶圆尺寸，他们希望寻找制造商帮其生产能够通过产品试制进行处理的设备。
解决方案
- 客户使用我们的设备进行了产品试制，发现即使增大晶圆直径，碳纳米管依然可以生长。
- 我们建议采用具有气体导入规格的 VF-1000LP，如导入碳纳米管生长所需的乙烯和乙炔，客户根据我们的建议购买了该产品。
结果
在碳纳米管的生长过程中，可以增大晶圆直径。
