解決方案案例 [case-002] VCSEL製程的建立
- 熱氧化
- VF-3000(B)
使用特殊的VCSEL製程專用熔爐大幅提高產量。
| 支援流程 | 熱氧化 |
|---|---|
| 型號介紹 | VF-3000(B) |
問題
我們解決了VCSEL (表面發射雷射) 的AIA層的低溫濕法氧化製程的再現性挑戰。
解決方案
- 在此過程中，證明高維溫度再現性是可能的，使我們專利的LGO加熱器獲得採用。
- 我們使用了蒸發器和專有的爐子結構，以提高潮濕氣氛的可控性。
- 此過程在產品試作過程中得到了驗證。
- 我們建議客戶考慮可自動傳輸的低成本VF-3000，客戶在我們的推薦下購買了它。
結果
- 孔徑變化減少一半，從而大大提高產量。大規模生產的潛力被發現。
