300mm晶圓大批量直立式爐管

此熱處理系統可執行矽晶圓、IGBT、聚酰亞胺和薄晶圓的氧化、擴散和CVD。作為我們的旗艦級機型，此爐配備了大容量儲料器，並且具有較短的循環時間。

特性

概要

此大批量、量產型直立式擴散爐每批量最多可處理100片晶圓 (300mm/12英寸) 或16個FOUP。我們專有的Light Gauge Over-bend Heater用於從低溫到中高溫發揮卓越溫度特性。此爐除矽晶圓外，也適用於IGBT、聚酰亞胺、薄晶圓等材料的熱處理。