活性化退火爐
可進行超高溫處理的直立式爐管，是功率裝置製造的理想選擇。支援3至8英寸晶圓，並具有自動晶圓傳輸機制。
特性
- 支援從小批量到50片晶圓的批量，以及從研發到批量生產線的應用。
- 爐內採用我們專利的無金屬結構。
- 可在晶圓附近進行溫度監控。
- 氮氣負載鎖定作為標準功能提供。
- 高處理量盒到盒的運輸
- 氫氣氣氛退火與溝槽倒圓為可選項。
概要
此是一款直立式爐管，可以處理從小批量到50片晶圓的批次，以及從3到8英寸的各種晶圓尺寸。精心挑選的硬體和控制系統功能，支援從研發到批量生產線的各種應用。爐內採用我們專利的無金屬結構。此退火爐可加工測試裝置 (無需晶圓轉移)，支援超高溫活化退火製程。
規格
| 機型 | VF-3000HLP |
|---|---|
| 工作溫度 | 700至1900°C (700至1800°C，用於氫氣退火) |
| 晶圓尺寸 | 3至8英寸 |
| 批量大小 | 50片晶圓 |
| 使用的氣體 | 氮氣、氬氣、氫氣 (可選項) |
應用
相關解決方案案例
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參閱解決方案案例
[case-003] 降低初始成本
提供具有良好價值的SiC活化退火設備
- 活化
- VF-3000H
