解决方案案例

本页介绍利用 JTEKT Thermo Systems 的热处理技术解决客户问题的示例。查看各种解决方案，包括有助于提高生产力、减少二氧化碳排放和节能的改进。

[case-011] CNT（碳纳米管）生长系统

用于大直径晶圆的 CNT（碳纳米管）生长系统

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- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)
[case-010] 提高了实验和开发精度

通过实验用高性能小型立式炉管提高实验和开发精度

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- 退火
- VF-1000(H)
[case-009] 低温立式炉管节能

优化隔热设计，增强立式炉管节能效果

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- 聚酰亚胺固化
- VF-3000(B)
[case-008] 提高生产力（重新配置处理工艺）

借助高性能立式炉管显著提高生产力

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- 退火
- VF-3000(B)
[case-007] 通过减少炉内污染物来提高产量

通过炉内自动清洁机制减少沉积物

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- 聚酰亚胺固化
- 抗蚀剂固化
- VF-5300(B)
[case-006] 提高 FPD 应用的产量

实现半导体制造设备清洁度级别的热处理

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- 金属接触退火（适用于 FPD）
- 玻璃料烧制（适用于 FPD）
- 脱氢（适用于 FPD）
- 活化（适用于 FPD）
- 固化（适用于 FPD）
- VFS-4000
[case-005] 减翘曲退火

运用专业知识和分析技术，实现最佳减翘曲退火工艺

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- 其他
- SO2-12-F
[case-004] 提高生产力（全自动传输）

通过全自动传输提高生产力

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- 接触退火
- RLA-3000-V
[case-003] 降低初始成本

提供物超所值的碳化硅活化退火设备

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- 活化
- VF-3000H
[case-002] 制定 VCSEL 工艺

借助特殊的 VCSEL 工艺专用炉，显著提高了产量。

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- 热氧化
- VF-3000(B)
[case-001] 提高工艺开发的质量

通过无金属化消除工艺开发中的问题

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- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)