解决方案案例 [case-003] 降低初始成本
- 活化
- VF-3000H
提供物超所值的碳化硅活化退火设备
| 支持工艺 | 活化 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-3000H |
问题
因为碳化硅活化过程需要极高的温度（1,800°C），设备成本可能很高。
解决方案
- 我们试图通过开发没有真空支持（成本高的主要原因）的设备来降低初始成本。
- 我们使用试制装置进行了产品试制，并证实了该流程的可行性。
结果
- 通过产品试制过程中的事先检查，客户验证了该流程顺利进行。
- 实现了每批 50 片一体式的规格和自动传输，与传统设备相比，成本降低了 30% 至 50%。
