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解决方案案例 [case-004] 提高生产力（全自动传输）

  • 接触退火
  • RLA-3000-V

通过全自动传输提高生产力

支持工艺 接触退火
型号介绍 RLA-3000-V

问题

在碳化硅接触退火（灯退火）中，基座(susceptor)对加工后的碳化硅晶片至关重要，但没有将晶片传输到基座的自动装置。

解决方案

  • 我们建议客户对碳化硅晶片基座采用自动传输机制。客户根据我们的建议购买了这种量产设备。

结果

  • 实现了全自动操作，并提高了生产力。

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