解决方案案例 [case-006] 提高 FPD 应用的产量
- 金属接触退火（适用于 FPD）
- 玻璃料烧制（适用于 FPD）
- 脱氢（适用于 FPD）
- 活化（适用于 FPD）
- 固化（适用于 FPD）
- VFS-4000
实现半导体制造设备清洁度级别的热处理
| 支持工艺 | 固化（适用于 FPD）、活化（适用于 FPD）、脱氢（适用于 FPD）、玻璃料烧制（适用于 FPD）、金属接触退火（适用于 FPD） |
|---|---|
| 型号介绍 | VFS-4000 大口径立式炉管 |
问题
在 FPD（尤其是 OLED 和高温多晶硅液晶）的热处理过程中，因为颗粒的生成会降低产量，所以需要半导体制造清洁度级别的热处理设备。
解决方案
- 我们利用石英等材料制成的非金属腔室，开发出与大型基板兼容的设备。
结果
- 我们能够使用这种设备以很少的颗粒来执行该流程，从而提高产量。
