解决方案案例 [case-005] 减翘曲退火

问题

在 FO-WLP、FO-PLP 等工艺中，可能因应力而发生基板翘曲。要进行退火处理以减少翘曲，需要获得最佳基板保持设备。

解决方案

• 我们通过分析提出了一种方案，可模拟传输过程中的干扰、热容量的影响以及可减少翘曲的最佳基板保持设备。

结果

• 即使是表现出严重翘曲的晶圆，也实现了稳定的加工和传输。

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