解决方案案例 [case-007] 通过减少炉内污染物来提高产量
- 聚酰亚胺固化
- 抗蚀剂固化
- VF-5300(B)
通过炉内自动清洁机制减少沉积物
| 支持工艺 | 有机材料固化 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-5300(B) |
问题
在聚酰亚胺固化等有机处理工艺中，有机副产物沉积在设备内，导致与颗粒相关的问题。
解决方案
- 我们通过检查炉内气体和重新调整排气结构优化了设备结构，
- 并采用高温燃烧结构。
结果
- 这一创新减少了副产物沉积，从而消除了颗粒，并提高了产量。
通过炉内自动清洁机制减少沉积物
| 支持工艺 | 有机材料固化 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-5300(B) |
在聚酰亚胺固化等有机处理工艺中，有机副产物沉积在设备内，导致与颗粒相关的问题。
