解决方案案例

本页介绍利用 JTEKT Thermo Systems 的热处理技术解决客户问题的示例。查看各种解决方案，包括有助于提高生产力、减少二氧化碳排放和节能的改进。

[case-015] 大批量式洁净烘箱系统

将批次数量增加一倍，以提高生产力

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- 其他
- SO2-12-F
[case-014] 处理易损薄晶圆

解决了由薄晶圆破裂和碎裂引起的运输问题

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- 退火
- VF-5100
[case-013] 快速冷却卧式炉管

通过自动移动加热器，可实现快速冷却。

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- 退火
- 200 型系列
[case-012] 适用于 FPD 的高性能聚酰亚胺固化系统

在大型平板基板的聚酰亚胺固化中，减少有机副产物沉积

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- 固化（适用于 FPD）
- VFS-4000
[case-011] CNT（碳纳米管）生长系统

用于大直径晶圆的 CNT（碳纳米管）生长系统

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- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)
[case-010] 提高了实验和开发精度

通过实验用高性能小型立式炉管提高实验和开发精度

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- 退火
- VF-1000(H)
[case-009] 低温立式炉管节能

优化隔热设计，增强立式炉管节能效果

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- 聚酰亚胺固化
- VF-3000(B)
[case-008] 提高生产力（重新配置处理工艺）

借助高性能立式炉管显著提高生产力

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- 退火
- VF-3000(B)
[case-007] 通过减少炉内污染物来提高产量

通过炉内自动清洁机制减少沉积物

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- 聚酰亚胺固化
- 抗蚀剂固化
- VF-5300(B)
[case-006] 提高 FPD 应用的产量

实现半导体制造设备清洁度级别的热处理

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- 金属接触退火（适用于 FPD）
- 玻璃料烧制（适用于 FPD）
- 脱氢（适用于 FPD）
- 活化（适用于 FPD）
- 固化（适用于 FPD）
- VFS-4000