解决方案案例 [case-014] 处理易损薄晶圆
- 退火
- VF-5100
解决了由薄晶圆破裂和碎裂引起的运输问题
| 支持工艺 | 退火 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-5100 型 |
问题
薄晶圆容易发生大的不规则变形，例如晶圆翘曲和弯曲。因此，在晶圆盒和石英舟之间传输晶圆以交由机器人处理时，超过允许传输量的晶圆可能会因接触等情况而受损，并且可能无法实现稳定处理。
解决方案
改为不在热处理设备中传输晶圆。将晶圆盒改为石英盒，并允许传输薄晶圆石英盒。
结果
通过使用石英盒传输薄晶圆而不直接接触晶圆，实现了稳定传输，并且不会受到晶圆翘曲或弯曲等变形的影响。