解決方案案例 [case-004] 提高生產力 (全自動傳輸)
- 接觸退火
- RLA-3000-V
透過全自動傳輸提高生產力
| 支援流程 | 接觸退火 |
|---|---|
| 型號介紹 | RLA-3000-V |
問題
在SiC接觸退火 (燈退火) 中，基座對於處理過的SiC晶圓是必不可少的，但沒有將晶圓轉移到基座的自動裝置可用。
解決方案
- 我們建議客戶採用SiC晶圓基座的自動傳送機構。客戶根據我們的推薦購買了該設備作為量產設備。
結果
- 實現全自動化，提高生產力。
透過全自動傳輸提高生產力
| 支援流程 | 接觸退火 |
|---|---|
| 型號介紹 | RLA-3000-V |
在SiC接觸退火 (燈退火) 中，基座對於處理過的SiC晶圓是必不可少的，但沒有將晶圓轉移到基座的自動裝置可用。
