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  • 2023年7月3日 展會

    在SEMICON Taiwan 國際半導體展 展出

  • 2023年4月3日 展會

    在CERAMIC JAPAN (Osaka show) 展出

  • 2023年3月31日 產品

    新增一個案例到解決方案案例中。([case-026] 藉由二氧化碳濃度將脫脂狀態可視化)

  • 2023年2月16日 產品

    新增一個案例到解決方案案例中。([case-025] 增進8吋晶圓的生產性)

  • 2022年9月30日 產品

    新增一個案例到解決方案案例中。([case-024] 可在不同pitch的設備間搬送的Robot)

  • 2022年9月29日 產品

    新增一個案例到解決方案案例中。([case-023] 燈光退火裝置的真空load lock 搬送)

  • 2021年12月20日 一般

    網站更新公告

  • 2021年11月3日 展會

    在CERAMIC JAPAN展出

  • 2021年11月3日 展會

    在SEMICON Japan展出

  • 2020年11月9日 展會

    在SEMICON Japan Virtual上展出

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