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這些具有自動基板傳送功能的量產潔淨烤箱，除了在FO-WLP、WL-CSP的PIQ製程有豐富的實績之外,也可以用於先進封裝用的各種方形基板(~600x600mm)。還可以用於聚醯亞胺固化等低溫製程。