專利資訊
本公司在日本及海外申請並註冊專利。
擁有註冊專利的國家
| 中國 | 南韓 |
| 台灣 | 日本 |
專利數(截至2025年7月)
註冊：189
(其中，與半導體相關的專利已註冊54項，與電子元件相關的專利已註冊49項)
註冊專利(選擇)
針對半導體
- 精確的熱處理和具有成本效益的直立式爐管
- 熱處理的供氣方法
- 製程管密封方式
- 加熱氣氛的氣流調整及其簡化
針對FPD
- 節能玻璃基板熱處理設備
- 玻璃基板支撐方式
針對電子元件
- 皮帶輸送式熱處理設備
- 熱處理的供氣方法
- 抑制因冷凝導致的過熱水蒸氣感測器損壞
針對工業爐
- 油淬法
- 連續滲碳爐氣氛控制方法