解决方案案例 [case-021] 回收废热以减少对环境的影响
- CCBS 系列
通过利用废热的热交换系统降低能耗
问题
在彩色滤光片的制造过程中，进行烘烤后处理时，彩色光阻剂中会产生各种气体。
这些气体在低温区形成升华物时，会对处理过的产品造成颗粒污染，导致产量下降。
为减少这些升华物泄漏，需要在产生的气体中加入新鲜空气以稀释其浓度，不过需要将稀释用的新鲜空气加热到处理温度，由此可能增加能源消耗。
解决方案
我们采用了一个热交换系统，从热处理设备排出的置换空气中回收废热，并用于预热稀释用的新鲜空气。
结果
回收废热减少了加热稀释用新鲜空气的能耗。
该热交换系统旨在优化流经排气路径的废气温度和热交换率，以减少升华物在废热回收设备上的附着，并实现免维护结构。
