解决方案案例 [case-023] 附带真空load-lock传送功能的灯光退火炉
- 接触退火
- RLA-4100V
采用真空搬送机构，提高产品特性和产量
| 支持工艺 | 接触退火 |
|---|---|
| 型号介绍 | RLA-4106-V 接触退火用灯光退火炉
|
问题
传统的氮气load-lock式灯光退火炉需要导入大量的氮气，还需要在每次热处理后对腔体进行排空。
另一方面，为了改善产品特性，需要在极低氧浓度氛围气下进行传送。
解决方案
将传送单元变更为真空Load-lock式。
结果
- 通过控制氧化从而提高产品性能
- 提高产量（33%）
