解决方案案例 [case-019] 减少晶圆传输错误
通过选择晶圆抽吸时间，减少晶圆传输错误
问题
传输晶圆时，晶圆会先升起，然后抽吸。如果晶盒背面的凹槽是锥形的，则在抽吸之前抬升晶圆可能会卡在锥形槽上，并且晶圆可能会移动，继而导致传送错误和晶圆损坏。
解决方案
通过改变控制器，可选择晶圆抽吸时间，可在晶圆抬升之前抽吸，也可在抬升之后抽吸。
结果
降低了因晶圆传输错误而导致设备停运和晶圆损坏的风险。
通过选择晶圆抽吸时间，减少晶圆传输错误
传输晶圆时，晶圆会先升起，然后抽吸。如果晶盒背面的凹槽是锥形的，则在抽吸之前抬升晶圆可能会卡在锥形槽上，并且晶圆可能会移动，继而导致传送错误和晶圆损坏。
通过改变控制器，可选择晶圆抽吸时间，可在晶圆抬升之前抽吸，也可在抬升之后抽吸。
降低了因晶圆传输错误而导致设备停运和晶圆损坏的风险。